上海普达特半导体设备公司获晶圆夹取装置专利，2024 年 11 月 14 日消息
金融界2024年11月14日消息，国家知识产权局信息显示，上海普达特半导体设备有限公司取得一项名为“一种晶圆夹取装置”的专利，授权公告号CN U，申请日期为2024年3月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种晶圆夹取装置，包括：夹取机构、调节机构及驱动机构，其中，夹取机构包括第一夹取部及第二夹取部；调节机构包括第一调节单元及第二调节单元，第一调节单元至少包括与第一夹取部连接的第一连接杆及与第一连接杆连接的第二连接杆，第二调节单元至少包括与第二夹取部连接的第三连接杆及与第三连接杆连接的第四连接杆；驱动机构位于第一连接杆及第三连接杆靠近夹取机构一侧且与调节机构相连接，第一连接杆与驱动机构沿Y方向中心线之间的角度、第三连接杆与驱动机构沿Y方向中心线之间的角度均随驱动机构沿Y方向的位移量变化而变化。本实用新型的晶圆夹取装置延长了夹取装置的寿命还能实现晶圆批量夹取。
