浙江亚笙半导体设备获专利：工业废气回收装置及半导体处理系统
金融界2024年11月15日消息，国家知识产权局信息显示，浙江亚笙半导体设备有限公司取得一项名为“一种工业废气回收装置及半导体处理系统”的专利，授权公告号 CN U，申请日期为2024年3月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种工业废气回收装置及半导体处理系统。工业废气回收装置应用于半导体制造工艺中，包括：气体真空泵，用于抽取半导体制造生产设备中的废气；冷凝系统，与所述气体真空泵连接，用于冷凝所述废气；所述气体真空泵和所述冷凝系统之间设置背压阀；电气控制柜，与所述冷凝系统连接；终端回收系统，与所述电气控制柜连接，用于回收液体；所述电气控制柜与所述终端回收系统之间设置逆止阀；所述电气控制柜用于控制和监测所述冷凝系统，并抽取所述冷凝系统的液体将所述液体回收至所述终端回收系统。本实用新型采用气液回收的方式，先将气体冷凝，再回收液体，安全可靠，相比于传统的液液回收和气气回收，效率以及安全性有着显著的提升。
本文源自：金融界
