半导体用高纯氟材料复合板打破国外技术壁垒

“这个16米高的单层建筑是1号车间，用来生产大型存储罐内衬氟材料复合板，我们的半导体用高纯氟材料复合板项目从原材料到成品的整个生产过程，对环境清洁度要求极高，这一技术打破了国外技术壁垒。”5月22日，在淄博先创区齐鲁智能微系统产业园C区，亿特富隆（山东）科技发展有限公司项目总工史元坤向记者介绍，对于今年6月份就可交付使用的新厂房，他满怀期待。

中国是氟化工产业大国，氟材料应用领域广泛，呈高端化、专用化、差异化发展。作为一项细分领域产品，半导体用高纯氟材料复合板，具体用在哪儿？主要解决什么技术难题？

依托于母公司山东美氟科技股份有限公司的高性能氟材料优势，亿特富隆（山东）科技发展有限公司半导体用高纯氟材料复合板项目（以下简称亿特富隆项目）聚焦终端客户需求，自主研发和制造的高纯度低渗透氟材料复合板，实现了在半导体、医药、精细化工等领域关键零部件的国产化替代。

“以项目产品常见应用场景——半导体高纯溶剂的存储容器内衬复合板为例，听起来没有什么技术含量，实则极其关键。”史元坤介绍，在半导体制造过程中，高纯盐酸、硝酸等常用溶剂在清洗、光刻、蚀刻等步骤的作用至关重要，溶剂品质直接影响半导体产品的性能。如何杜绝这些高纯或强腐蚀性溶剂与金属接触，一直是行业痛点，亿特富隆项目生产的就是溶剂存放容器上的一层复合板材，通俗来说，像是给这些溶剂“穿上”一层隔绝金属的“氟衣”，能有效解决金属析出物的污染难题，同时大大降低后续生产中的芯片不良率问题。

从最基础的氟素材，到半导体用清洗设备零部件、溶剂存放容器内衬复合板、精细化工中的精馏塔配件等，企业不断延伸产业链，建设新厂房，打造新产品，提高产能，满足客户需求。

列入2024年全市重大项目的亿特富隆项目，将与芯氟新材料科技(山东)有限公司高性能氟材料制品项目一体打造，包含年产1000吨半导体用高纯氟材料复合板以及4800吨高性能氟材料制品项目，总投资6.8亿元，主要建设9个建筑单体，其中生产车间8个，综合研发中心1个。

在淄博先创区项目服务专员对于项目的全生命周期一体化服务推动下，该项目进展顺利。记者在施工现场看到，园区内路面已硬化完毕，一期４个车间主体建设完成，正进行外墙喷漆，除1号车间为单层建筑外，其余3个车间均为多层，预计6月份交付使用，7月份产线进厂，10月份即可投产。

“我们的产品在韩国、日本以及欧洲国家的市场越来越大，订单越来越多，预计明年项目产能可突破6000吨。”史元坤信心满满。

在亿特富隆项目中，即将动工的综合研发中心颇受关注，这也将是企业延链发展的核心技术输出地。对于企业而言，现有产品应用端研发与新产品研发同样重要。今年4月，新研发的聚四氟乙烯造粒产品首次亮相国际展会，便签来大量订单，该产品正是对过去粉状聚四氟乙烯产品的进一步打造，开拓了更多应用方向。

延链成长，不断突破关键核心技术的亿特富隆也受到资本市场关注。本月初，亿特富隆通过母公司山东美氟科技股份有限公司与长江资本等机构进行了A轮融资签约。业内分析，长江资本长期关注半导体产业，从早期关注芯片公司，到后期沿着产业链投设备、投零部件。一个个曾被国外垄断的产业基础节点，都成为资本眼中的“香饽饽”，而亿特富隆及其母公司，则希望借助资本优势链接到更多行业资源。

2025年，亿特富隆项目将全面投产达效，成为国内氟制品行业细分领域产能最大的生产制造基地，为我市氟硅材料产业发展开辟新赛道。