三星第 9 代 V-NAND 闪存量产,单位面积存储密度提高约 50%
今年4月,三星宣布正式量产第9代V-NAND闪存,首批生产的是1Tb(128GB)TLC 3D NAND闪存芯片,相比上一代产品,单位面积存储密度提高了约50%,同时功耗降低了10%。三星还引入了新的技术,避免单元干扰并延长单元寿命,同时取消备用通道孔大幅减少了存储单元的平面面积。
据The Elec报道,三星在第9代V-NAND闪存的生产中,在金属化工艺过程中使用了钨,另一种则使用了钼(Mo)。目前行业内使用钨来降低层高已达到极限,换成钼可将层高再降低30%至40%,而且还能降低NAND的延迟。三星决定更多地使用钼,意味着NAND材料价值链将发生一些变化。
与六氟化钨(WF6)不同,机器需要将含有钼的原材料加热到600℃,才能将其从固体转换为气体。有业内人士透露,三星已从Lam 公司引进了5台Mo沉积机,并计划明年再引进20台设备。三星正在从和Air 采购钼,而Merck也向三星提供了样品。除了三星外,SK海力士、美光和铠侠也在寻求NAND生产中采用钼材料。
相比于六氟化钨,这些含钼的材料定价是其十倍。除了NAND闪存,钼材料未来还可能应用于DRAM和逻辑芯片。不少企业都瞄准了这个新市场,正在开发对应的含钼材料,这也意味着六氟化钨市场将不可避免地萎缩。